| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2千-5千 |
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極真空計
日本ULVAC愛發(fā)科熱陰極真空計
特征
愛發(fā)科自己的理念：能夠根據應用連接不同測量范圍的傳感器頭。
緊湊：與以前的型號相比，顯著小型化（控制器體積減少 56%）。世界上zui 小的級別。
高可用性：通過連接 PC/Android 設置設定點、條件檢查等。
更多選擇：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格外，還提供 EtherCAT 規(guī)格。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)視電量，可以在電離真空計壽命之前進行提前警告。
寬測量范圍：從大氣壓到超高真空 （1 x 10+5至 5 x 10-8Pa） 的 （與可選單元 SWU10-R 一起使用時）。
精確的大氣壓力感應：可提供腔室打開時的大氣壓力檢查（與可選裝置 SAU 一起使用時）。
半導體或電氣設備真空設備的高真空范圍內的過程控制。
用于具有許多工藝腔室的在線或間歇式真空設備的zhong 極壓力檢查。
高真空或超高真空設備的壓力測量。
| 型 | SH200-A 型 | SH200-R 系列 | HT200-E （預定發(fā)布） | |
| 類型 | 模擬輸出類型 | 串行通信類型 | EtherCAT 通信類型 | |
| 適用的電離計 傳感器頭 | M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070） | |||
| 可連接的傳感器 | 多電離計 SH200：1 個皮拉尼真空計傳感器單元 SWU10-R：1 個（可選） 壓力感應單元 SAU：1 個（可選） | |||
| 重復性 （N2) | SH200 簡單模式：±2% | |||
| 采樣時間 | 60 毫秒，5 倍移動平均線 | |||
| 值輸出 | 輸出電壓：0 至 10 VDC，LOG 輸出：0.75 V/1 十進制 壓力轉換方程：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^ | |||
| 更新時間 | 60 毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF帶集電極開路輸入、負邏輯 | - | - | |
| 控制輸出信號 | 傳感器誤差，設定點 1/2/3，發(fā)射有效 燈絲 功率觀察 額定值：24VMAX、50mAMAX 飽和電壓：1V | - | - | |
| 通信類型 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技術 | |
| LED顯示屏 | 電源：電源、錯誤 LED（閃爍模式和顏色變化取決于每種模式） | |||
| 發(fā)射電流 | 1mA （1×10-3Pa 或更低）、10μA （1×10-3Pa 或更高） | |||
| 脫氣法 | 電子轟擊型 1mA，330V | |||
| 傳感器的最大壓力 | 2×10+5Pa （1.5 x 10+3托，2 x 10+3mbar）（絕對壓力） *需要單獨的措施作為抵抗壓力的能力，例如法蘭和卡箍 | |||
| 傳感器內部容積 | 17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46） | |||
| 工作溫度范圍 | 10 至 50°C（50 至 122°C） | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（非冷凝） | |||
| 儲存溫度 | -20 至 65°C（-4 至 149°C）（不通電、不冷凝時） | |||
| IP 等級 | IP30 防護等級 | |||
| 電源電壓 | DC20 至 28V（紋波、噪聲 1% 或更低）低于 8W | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15 針（M2.6 螺絲） | |||
| 重量 | 傳感器單元：約 280g，傳感器頭 （M-44/45）：80g，（M-46）：300g | |||
| 尺寸 寬 x 深 x 高 | 69mm×63mm×90mm（僅傳感器單元） | |||
| 適用標準 | CE | |||
| 選擇 | Multi Ionization Gauge 傳感器頭 | M-44（NW16）， M-45（NW25）， M-46（ICF070） 氣體接觸部分材料： 細絲 1， 2 -Ir/Y2O3 其他： PtC-Mo， SUS304， W， 可伐合金玻璃， 可伐合金/鎳電鍍 | ||
| Pirani 真空計 | SWU10-R *還提供舊型號 SPU | |||
| Pirani 真空計傳感器頭 | SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）， SWP-CF16（ICF034） 氣體接觸部分材料 ： 細絲-Pt， 其他-BS/Ni 電鍍， Ni， 焊錫 | |||
| 壓力開關 | SAU（NW16） 氣體接觸部分材料 ： SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P （SWU10-R用） ：0.5m， 1m， 2m GUC-200A （SAU用） ：0.5m， 1m， 2m | |||
| 顯示單位 | 1路：ISG1（DC24V） | |||
| 顯示電纜 | 電纜 SH200 和設計單元 之間 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 連接器 | I/O 連接器 （D-sub15-soket（M2.6mm 螺絲）） | |||
| 別人 | 測試證書、校準證書 | |||
“型號：SH200“ 有三種選擇;使用多電離真空計的簡單模式，使用多電離真空計和皮拉尼真空計的組合模式 （SWU10-R），以及使用多電離真空計、皮拉尼真空計 （SWU10-R） 和壓力開關 （SAU） 的三重組合模式
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 簡易模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 三重組合模式 |
| 可測量壓力范圍 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+1帕 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+5帕 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+5帕 |
| 準確性 | 5.0×10 元-8至 1.0×10+1年化收益率： ±15% | 5.0×10 元-8至 1.0×10-1派安率：±15% 4.0×10-1至 3.0×10+0帕：±10~±15% 3.0×10+0至 1.0×10+4帕：±10% 1.0×10+4至 1.0×10+5年化收益率：±20% | 5.0×10 元-8至 4.0×10-1派安率：±15% 4.0×10-1至 3.0×10+0帕：±10~±15% 3.0×10+0至 1.0×10+4派安率：±10% 1.0×10+4至 3.0×10+5帕斯烷：±3%F.S.（3.0×10+3Pa?基準溫度：25°C） |
| 連接圖像 |  |  |  |
| 可測量壓力范圍圖像 |  當需要“大氣壓"檢查以打開腔室時，可以使用三重組合。 | ||
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